信捷XC5-32T-E脉冲输出Y0做原点回归，每次回原点位置偏差2-3mm，求助

我们设备用信捷XC5-32T-E的晶体管输出，Y0发脉冲控制伺服电机带动丝杠做往复运动，每次开机需要回原点。
程序用DZRN指令做原点回归，近点信号接在X0上，伺服本身的Z相脉冲接在X1上。
现象是：连续回原点3-5次后，每次停止位置偏差2-3mm，不是固定方向，有时偏前有时偏后。X0开关是机械式限位开关，已检查安装牢固，但怀疑是机械抖动导致。
程序里DZRN指令的爬行速度设了500Hz，回原速度3000Hz，X0的滤波时间默认10ms。
怎么解决？